Pasiuna sa wafer carrier
KATAGORYA SA PRODUKTO
▶Sistema sa Pagdala og Wafer para sa Proseso sa PECVD ug TALOX
• PECVD ug TALOX Graphite Boat (M4~M12)
• Bertikal nga SM-Boat (M4, M6)
• Bahin sa Graphite sa Implant ug Shower (M4~M6)
• C/C Tray ug Ceramic Coating
• Metal nga RIE-Tray ug Seramik nga Panapot
• Pagsilyo gamit ang Vacuum: O-Ring ug SQ-Ring
▶Proseso sa Pagbalhin sa Texturing ug Wet Etching
• LSC H-Carrier o cassette (M4~M12)
• LSC V-Carrier o cassette (M4~M12)
• ASC Carrier o cassette (M4, M6)
• Uban sa Kargamento ug Kahon nga Pangtipig (M4~M12)
• Serye sa Ligid sa Pagdala (Roller)
▶Tagdala sa Solar Cell ug Tagdala sa Metal
• TRC Carrier o cassette (M4~M12)
• Magasin (uban ang BELT)
GRAPHITE BOAT (H-Type)
19P6-216CT (WF M4~M12)
GRAPHITE BOAT (H-Type)
21P6-240CT WF M4~M12)
GRAPHITE BOAT (H-Type)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
GRAPHITE BOAT (H-Type)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
GRAPHITE BOAT (H-Type)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF nga Kahon sa Pagdala ug Pagtipig (~M12)
C/C TRAY o CARRIER (M4~M10)
C/C TRAY o CARRIER (M4~M10)
BERTIKAL NGA BANGKA (SM) M6
LSC-H-CARRER(~M12)
LSC-V-CARRER(~M12)
ASC CARRIER (~M6)
TRC CARRIER(~M12)
TRC CARRIER(~M12)
GRAPHITE-BOAT (M12)
Sistema sa Pagdala og Wafer para sa Proseso sa PECVD
▶ GRAPHITE BOAT (Gidisenyo sa CT) Proseso sa M10/M12
• KONSEPTO SA ESPESYAL NGA DISENYO
▶ GRAPHITE BOAT (Gidisenyo sa CT) Proseso sa M4/M6
▶ Mga Piyesa sa Aksesorya sa BANGKA
▶ BERTIKAL NGA BANGKA-161.7mm NGA WAFER
▶ BERTIKAL NGA BANGKA-166mm NGA WAFER
▶ BERTIKAL NGA BANGKA-161.7mm, 166mm NGA WAFER
Tagdala sa Solar Cell ug Tagdala sa Metal nga TRC
MATANG: Awtomasyon
Gidak-on sa Wafer: ① 156×156MM ② 156.75×156.75MM
③161.7x161.7MM ④166x166MM
⑤ 180×180mm ⑥ 210×210mm
PAGGAMIT: Pagdala (Cassette)
KAPASIDAD: 100 ka panid
Gitas-on: 4.76MM/5.953mm/6.35mm
DIMENSYON: Gibana-bana nga 559×220×220MM
Gibana-bana nga 712×260×260MM
BENTAHA: Atmospera
MATERYAL: KALAYO, SIDE BAR-Aluminum (anodizing)
SIDE PLATE-POM (Antistatic)
Taklob sa ubos nga baras-EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC-METAL CARRIER (U'SER LINE)
TRC-METAL CARRIER (U'SER LINE)
TRC-METAL CARRIER (U'SER LINE)
PLATO SA SHOWER UG IMPLANT, TAGDAGAN
