Si Wafer

Silikon nga wafer (Si Wafer)

Unsa ang usa ka silicon wafer?

Ang silicon wafer usa ka lingin nga nipis nga panapton nga gihimo pinaagi sa pagputol, paggaling, ug pagpasinaw sa mga high-purity monocrystalline silicon ingot; kini nagsilbing sukaranan nga substrate material para sa paggama sa integrated circuits, power devices, MEMS sensors, photovoltaic ug optical components. Ang electrical properties sa wafer (resistivity, doping type), geometric accuracy (thickness, TTV, warpage), ug surface quality (roughness, particle size) direktang nagtino sa yield ug device consistency sa sunod nga mga proseso sama sa epitaxial growth, photolithography, ug coating; busa, ang pagpili ug traceability sa mga wafer importante para sa mga linya sa produksiyon sa kustomer.

Ang portfolio sa produkto sa silicon wafer sa Semicera Laboratory naglangkob sa lain-laing mga segment, gikan sa bare wafer substrates ngadto sa functional substrates; kini nagtugot sa pag-customize sa nagkalain-laing crystal growth techniques, cutting orientations, ug surface treatment solutions base sa downstream fabrication processes (epitaxy, oxidation, bonding, MEMS processing).

Plinya sa produkto

Kini nga kategorya naglakip sa mosunod nga mga sub-produkto, ang matag usa anaa sa gipahaom nga mga detalye:

Pprodukto

Mmga bahin sa ain

Kasagarang mga Aplikasyon

Silikon nga Pelikula

Nipis kaayo nga silicon layer nga makontrol ang gibag-on hangtod sa submicron range

Layer sa aparato sa SOI, sensor nga nipis ang pelikula

Substrate nga Silikon

Taas nga pagkapatag sa nawong–pagpasinaw nga usa ra o duha ka kilid

Mga MEMS ug mga aparato sa kuryente; pagtubo sa epitaxial; kinatibuk-ang pag-verify sa proseso

Silicon Wafer (Estandard)

Pamaagi sa CZ–lapad nga range sa resistivity

Paggama sa IC, mga discrete device

Mga Wafer nga FZ Silicon

Pagkatunaw sa distrito (walay tunawan), ultra-taas nga resistivity, ubos nga sulud sa oksiheno

Mga aparato sa kuryente, mga detektor, mga aplikasyon sa high-frequency/RF

Silicon Thermal Oxide Wafer

SiO2 nga gipatubo sa ibabaw₂insulating layer nga adunay kontrolado nga gibag-on

Pagpanukiduki sa MEMS isolation layer ug capacitor/dielectric

Mga Kinauyokan nga Teknikal nga Espesipikasyon

Ang mosunod naglista sa komon nga mapasibo nga mga han-ay sa espesipikasyon para sa mga produkto sa silicon wafer; ang eksaktong mga kantidad anaa sa Order Confirmation Form:

Parametro

Kasagaran nga Sakop

Ipasabot

Diametro sa wafer

2"″ –12""(50–300 mm)

Gisuportahan ang gipahaom nga gagmay nga mga sample sheet

Mode sa pagtubo sa kristal

CZ (pamaagi sa Czochralski) / FZ (pamaagi sa pagtunaw sa sona)

Ang FZ gidisenyo alang sa ultra-high resistivity ug low-oxygen nga mga palibot.

kristal nga oryentasyon

(100)、(111)、(110)

Nahiuyon sa mga kinahanglanon sa proseso sa ubos nga bahin

Tipo sa pagdoping

N-tipo / P-tipo

Mga elemento sa pagdoping: phosphorus, arsenic, boron, ug uban pa.

resistensya

0.001–10,000Ω·cm

Ang prosesong FZ nagtugot sa operasyon sa rehiyon nga taas ang resistensya.

pagtipas sa gibag-on

±10–25 μm (depende sa gidak-on)

Samtang modako ang diametro, modaghan usab ang standard nga gibag-on.

Kinatibuk-ang Pagkalainlain sa Gibag-on (TTV)

≤1–5 μm

Makaapekto sa photolithography depth of field ug bonding consistency

Lingkod/Pana

≤5–20 μm

Ang mga dagkong pormat nga panid nanginahanglan og mas estrikto nga mga lakang sa pagkontrol sa warpage.

Kabangis sa nawong (Ra)

Sukod sa sub-nanometer (pinasinaw nga nawong)

Makaapekto sa thin-film adhesion ug electrical performance sa device

pagproseso sa ngilit

Lingin nga ngilit/Chamfer–nagsunod sa mga sumbanan sa SEMI

Pagpakunhod sa pagliki sa ngilit ug kontaminasyon sa partikulo

kahimtang sa nawong

Pagpasinaw nga usa ra ka kilid (SSP)/Pagpasinaw nga duha ka kilid (DSP)

Ang DSP angay alang sa mga proseso sa pag-bonding ug MEMS.

Mubo nga sulat: Ang pamaagi sa CZ naggamit ug quartz crucible para sa pagtubo sa kristal; kini nga proseso napamatud-an na ug epektibo sa gasto, apan ang oksiheno nga gipaila sa crucible naglimite sa labing taas nga kantidad sa resistivity. Sa kasukwahi, ang pamaagi sa FZ wala mogamit ug crucible, nga miresulta sa ubos kaayo nga sulud sa oksiheno ug nagtugot sa paghimo sa mas taas ug mas parehas nga mga kantidad sa resistivity.–nga naghimo niini nga labi ka angay alang sa mga aplikasyon nga taas og resistensya sama sa mga aparato sa kuryente ug mga detektor. Kini nga kalainan sa mga proseso sa paggama nagsilbi nga usa ka hinungdanon nga sukdanan sa pagpili sa usa ka materyal o pamaagi sa paggama.

Proseso sa Produksyon ug Pagsulay

 

Ang tibuok proseso gihimo sulod sa usa ka kontroladong palibot sa limpyo nga kwarto; alang sa tanang kritikal nga proseso, ang detalyado nga mga rekord sa datos sa inspeksyon gipadayon aron masiguro ang makanunayon ug masubay nga mga parametro sa lain-laing mga batch.

Alugar sa aplikasyon

Ngano nga pilion mi?

 

Mga Kanunayng Gipangutana (FAQ)

P: Unsaon pagpili tali sa CZ silicon wafers ug FZ silicon wafers?

A: Alang sa mga aplikasyon diin ang gasto ang pangunang gikabalak-an ug ang kinahanglanon sa resistivity naa sa ubos ngadto sa medium nga range, ang CZ silicon wafers nagrepresentar sa mas ekonomikanhon nga kapilian; bisan pa, alang sa mga aplikasyon (pananglitan, mga high-voltage power device o detector) nga nanginahanglan og taas kaayo ug parehas nga resistivity uban ang ubos kaayo nga oxygen content, girekomenda ang FZ silicon wafers.

P: Unsa ang kalainan tali sa single-sided polishing (SSP) ug double-sided polishing (DSP)?

A: Ang SSP adunay sama sa salamin nga nawong sa usa lang ka kilid ug nagtanyag og mas barato nga presyo, nga naghimo niini nga angay alang sa naandan nga mga proseso sa epitaxial ug photolithography; Ang DSP adunay pinasinaw nga mga nawong sa duha ka kilid, nga naghatag og mas taas nga pagkapatag ug labaw nga kalimpyo sa likod, ug kasagarang gigamit sa pag-bonding, mga aplikasyon sa MEMS, o mga proseso diin gipatuman ang estrikto nga mga kinahanglanon sa kalidad sa likod.

P: Gisuportahan ba sa serbisyo ang dili-standard nga mga dimensyon o small-batch prototyping?

A: Suporta–Ang diametro, gibag-on, kristalograpikong oryentasyon, ug pagtambal sa nawong mahimong ipasibo sumala sa kustomer'mga drowing o mga kinahanglanon sa espesipikasyon; ang mga sampol nga ispesimen ihatag alang sa beripikasyon sa dili pa mopadayon sa mass production.

P: Unsaon nato pagkumpirma kung ang mga parametro sa wafer nakab-ot ba ang mga kinahanglanon sa among linya sa produksiyon?

A: Among girekomendar ang paghatag sa target resistivity range, crystal orientation, thickness tolerance, TTV/deflection requirements, ug surface condition (SSP/DSP); base niining mga detalye, mohatag kami og mga rekomendasyon sa pagpili ug testing report.

Paghangyo og Kwotasyon ug Teknikal nga Dokumentasyon

Aron makakuha og mga kinutlo para sa piho nga mga detalye sa silicon wafer, i-download ang product technical parameters sheet, o hisgutan ang customized non-standard nga mga solusyon, palihug isumite ang imong hangyo pinaagi sa"Kontaka Kami","motubag kami sulod sa 24 oras.