Isostatic PECVD Graphite Boat

Mubo nga Deskripsyon:

Ang Isostatic PECVD graphite boat kaylap nga gigamit sa nagkalain-laing mga link sa semiconductor manufacturing, sama sa polysilicon film deposition, oxide film deposition, nitride film deposition, ug uban pa. Ang maayo kaayo nga performance niini naghimo niini nga usa ka sulundon nga wafer carrier sa proseso sa PECVD.

Ipadala ang email kanamo

Detalye sa Produkto

Mga Tag sa Produkto

Ang SEMICERA isostatic PECVD graphite boat kay usa ka high-purity, high-density graphite nga produkto nga gidisenyo para sa wafer support sa PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition) nga proseso. Ang SEMICERA naggamit sa advanced isostatic pressing technology aron maseguro nga ang graphite boat adunay maayo kaayo nga taas nga temperatura nga pagsukol, corrosion resistance, dimensional nga kalig-on ug maayo nga thermal conductivity, nga usa ka kinahanglanon nga magamit sa proseso sa paghimo sa semiconductor.

Ang SEMICERA isostatic PECVD graphite boat adunay mosunod nga mga bentaha:

▪ Taas nga kaputli: Ang graphite nga materyal adunay taas nga kaputli ug ubos nga hugaw nga sulod aron malikayan ang kontaminasyon sa wafer nga nawong.

▪ Taas nga densidad: Taas nga densidad, taas nga mekanikal nga kusog, makasugakod sa taas nga temperatura ug taas nga vacuum nga palibot.

▪ Maayo nga kalig-on sa dimensyon: Gamay nga pagbag-o sa dimensyon sa taas nga temperatura aron masiguro ang kalig-on sa proseso.

▪ Maayo kaayo nga thermal conductivity: Epektibo nga pagbalhin sa kainit aron malikayan ang sobrang kainit sa wafer.

▪ Kusog nga pagsukol sa kaagnasan: Makasukol sa pagbanlas sa lainlaing mga makadaot nga gas ug plasma.

Parameter sa performance	semicera	SGL R6510	Parameter sa performance
Daghang Densidad (g/cm3)	1.91	1.83	1.85
Kusog sa bending (MPa)	63	60	49
Compressive nga kusog (MPa)	135	130	103
Katig-a sa baybayon (HS)	70	64	60
Coefficient sa pagpalapad sa kainit（10-6/K）	85	105	130
Coefficient sa pagpalapad sa kainit（10-6/K）	5.85	4.2	5.0
Resistivity (μΩm)	11-13	13	10

Mga bentaha sa pagpili kanamo:
▪ Pagpili sa materyal: Ang high-purity graphite nga mga materyales gigamit aron maseguro ang kalidad sa produkto.
▪ Teknolohiya sa pagproseso: Ang Isostatic pressing gigamit aron masiguro ang densidad ug pagkaparehas sa produkto.
▪ Pag-customize sa gidak-on: Ang mga graphite nga mga bangka nga lainlaig gidak-on ug porma mahimong ipasibo sumala sa panginahanglan sa kustomer.
▪ Pagtambal sa nawong: Ang nagkalainlaing mga paagi sa pagtambal sa nawong gihatag, sama sa coating silicon carbide, boron nitride, ug uban pa, aron matubag ang lainlaing mga kinahanglanon sa proseso.