Ang mga nag-unang rason nga nakaapekto sa pagkaparehas sa radial resistivity sa mga single nga kristal mao ang flatness sa solid-liquid interface ug ang gamay nga epekto sa eroplano sa panahon sa pagtubo sa kristal.
Ang impluwensya sa flatness sa solid-liquid interface Sa panahon sa pagtubo sa kristal, kung ang pagkatunaw gipalihok parehas, ang parehas nga pagbatok sa nawong mao ang solid-liquid interface (ang konsentrasyon sa kahugawan sa pagkatunaw lahi sa konsentrasyon sa kahugawan sa kristal, busa lahi ang resistivity, ug ang resistensya parehas ra sa solid-liquid interface). Sa diha nga ang kahugawan K <1, ang interface convex sa matunaw hinungdan sa radial resistivity nga taas sa tunga-tunga ug ubos sa ngilit, samtang ang interface concave sa matunaw mao ang kaatbang. Ang radial resistivity uniformity sa flat solid-liquid interface mas maayo. Ang porma sa solid-liquid interface sa panahon sa pagbira sa kristal gitino sa mga hinungdan sama sa pag-apod-apod sa thermal field ug ang mga parameter sa pag-operate sa pagtubo sa kristal. Sa tul-id nga gibira nga single nga kristal, ang porma sa solid-liquid nga nawong mao ang resulta sa hiniusa nga epekto sa mga hinungdan sama sa pag-apod-apod sa temperatura sa hudno ug pagwagtang sa kainit sa kristal.
Kung nagbira sa mga kristal, adunay upat ka nag-unang matang sa pagbayloay sa kainit sa solid-liquid interface:
Ang tinago nga kainit sa pagbag-o sa hugna nga gipagawas sa tinunaw nga silicon solidification
Pagdala sa kainit sa natunaw
Pagdala sa kainit pataas pinaagi sa kristal
Radiation init sa gawas pinaagi sa kristal
Ang tinago nga kainit managsama alang sa tibuuk nga interface, ug ang gidak-on niini dili mausab kung ang rate sa pagtubo kanunay. (Paspas nga pagpadagan sa kainit, paspas nga pagpabugnaw, ug dugang nga solidification rate)
Kung ang ulo sa nagtubo nga kristal duol sa tubig nga gipabugnaw sa liso nga kristal nga sungkod sa usa ka kristal nga hudno, ang temperatura nga gradient sa kristal dako, nga naghimo sa longhitudinal heat conduction sa kristal nga mas dako kay sa ibabaw nga radiation heat, mao nga ang solid-liquid interface convex sa matunaw.
Sa diha nga ang kristal motubo ngadto sa tunga-tunga, ang longhitudinal heat conduction katumbas sa nawong radiation kainit, mao nga ang interface tul-id.
Sa ikog sa kristal, ang longhitudinal heat conduction mas ubos kay sa ibabaw nga radiation heat, nga naghimo sa solid-liquid interface concave sa matunaw.
Aron makakuha og usa ka kristal nga adunay uniporme nga radial resistivity, ang solid-liquid interface kinahanglan nga leveled.
Ang mga pamaagi nga gigamit mao ang: ①I-adjust ang crystal growth thermal system aron makunhuran ang radial temperature gradient sa thermal field.
②Ipasibo ang mga parameter sa operasyon sa pagbira sa kristal. Pananglitan, alang sa usa ka interface convex sa matunaw, dugangi ang pagbira speed sa pagdugang sa kristal solidification rate. Niini nga panahon, tungod sa pagtaas sa crystallization nga tinago nga kainit nga gipagawas sa interface, ang temperatura sa pagtunaw duol sa interface nagdugang, nga miresulta sa pagkatunaw sa usa ka bahin sa kristal sa interface, nga naghimo sa interface nga patag. Sa kasukwahi, kon ang pagtubo interface mao ang concave ngadto sa matunaw, ang pagtubo rate mahimong mapakunhod, ug ang matunaw mopalig-on sa usa ka katugbang nga gidaghanon, sa paghimo sa pagtubo interface patag.
③ I-adjust ang gikusgon sa rotation sa kristal o crucible. Ang pagdugang sa katulin sa pag-rotate sa kristal makadugang sa taas nga temperatura nga pag-agos sa likido nga naglihok gikan sa ilawom hangtod sa taas sa solid-liquid interface, nga naghimo sa pagbag-o sa interface gikan sa convex hangtod sa concave. Ang direksyon sa agos sa likido nga gipahinabo sa pagtuyok sa tunawan parehas sa natural nga kombeksyon, ug ang epekto hingpit nga sukwahi sa rotation sa kristal.
④ Ang pagdugang sa ratio sa sulod nga diyametro sa crucible ngadto sa diametro sa kristal mopatag sa solid-liquid interface, ug mahimo usab nga makunhuran ang dislokasyon nga densidad ug ang oxygen nga sulod sa kristal. Kasagaran, ang crucible diametro: kristal diametro = 3 ~ 2.5: 1.
Impluwensya sa gamay nga epekto sa eroplano
Ang solid-liquid interface sa pagtubo sa kristal kanunay nga kurbado tungod sa limitasyon sa natunaw nga isotherm sa crucible. Kung ang kristal dali nga mabayaw sa panahon sa pagtubo sa kristal, usa ka gamay nga patag nga eroplano ang makita sa solid-liquid interface sa (111) germanium ug silicon single nga kristal. Kini mao ang (111) atomic close-packed nga eroplano, kasagaran gitawag nga gamay nga eroplano.
Ang konsentrasyon sa kahugawan sa gamay nga lugar sa eroplano lahi kaayo kaysa sa dili gamay nga lugar sa eroplano. Kini nga panghitabo sa dili normal nga pag-apod-apod sa mga hugaw sa gamay nga lugar sa eroplano gitawag nga gamay nga epekto sa eroplano.
Tungod sa gamay nga epekto sa eroplano, ang resistivity sa gamay nga lugar sa eroplano mokunhod, ug sa grabe nga mga kaso, ang mga cores sa kahugawan sa tubo makita. Aron mawagtang ang radial resistivity inhomogeneity nga gipahinabo sa gamay nga epekto sa eroplano, ang solid-liquid interface kinahanglan nga lebel.
Pag-abiabi sa bisan unsang mga kostumer gikan sa tibuuk kalibutan nga mobisita kanamo alang sa dugang nga diskusyon!
https://www.semi-cera.com/
https://www.semi-cera.com/tac-coating-monocrystal-growth-parts/
https://www.semi-cera.com/cvd-coating/
Oras sa pag-post: Hul-24-2024