Ang mga manipis nga pelikula nga gigamit sa paghimo sa semiconductor tanan adunay resistensya, ug ang pagsukol sa pelikula adunay direkta nga epekto sa pasundayag sa aparato. Kasagaran dili namo sukdon ang hingpit nga pagsukol sa pelikula, apan gamiton ang pagbatok sa sheet aron mailhan kini.
Unsa ang resistensya sa sheet ug resistensya sa volume?
Ang resistivity sa volume, nailhan usab nga resistivity sa volume, usa ka kinaiyanhon nga kabtangan sa usa ka materyal nga nagpaila kung unsa ka daghan ang materyal nga nakababag sa pag-agos sa kuryente. Ang sagad gigamit nga simbolo nga ρ nagrepresentar, ang yunit mao ang Ω.
Sheet resistance, nailhan usab nga sheet resistance, ang English nga ngalan kay sheet resistance, nga nagtumong sa resistance value sa pelikula kada unit area. Kasagarang gigamit nga mga simbolo Rs o ρs aron ipahayag, ang yunit mao ang Ω/sq o Ω/□
Ang relasyon tali sa duha mao ang: sheet resistance = volume resistivity/film gibag-on, nga mao, Rs =ρ/t
Ngano nga sukdon ang resistensya sa sheet?
Ang pagsukod sa hingpit nga pagsukol sa usa ka pelikula nanginahanglan ug tukma nga kahibalo sa mga geometric nga dimensyon sa pelikula (gitas-on, gilapdon, gibag-on), nga adunay daghang mga variable ug labi ka komplikado alang sa nipis kaayo o dili regular nga porma nga mga pelikula. Ang pagbatok sa sheet nalangkit lamang sa gibag-on sa pelikula ug mahimong dali ug direkta nga masulayan nga walay komplikado nga kalkulasyon sa gidak-on.
Unsang mga pelikula ang kinahanglan nga sukdon ang resistensya sa sheet?
Kasagaran, ang conductive films ug semiconductor films kinahanglan nga sukdon alang sa square resistance, samtang ang insulating films dili kinahanglan nga sukdon.
Sa semiconductor doping, ang sheet resistance sa silicon gisukod usab.
Unsaon pagsukod sa square resistance?
Ang upat ka-probe nga pamaagi kasagarang gigamit sa industriya. Ang four-probe nga pamaagi makasukod sa square resistance gikan sa 1E-3 ngadto sa 1E+9Ω/sq. Ang four-probe nga pamaagi makalikay sa mga sayop sa pagsukod tungod sa pagkontak sa pagsukol tali sa probe ug sa sample.
Mga pamaagi sa pagsukod:
1) Ibutang ang upat ka linearly arranged probes sa ibabaw sa sample.
2) Ibutang ang usa ka kanunay nga kasamtangan tali sa duha ka gawas nga probes.
3) Tinoa ang pagsukol pinaagi sa pagsukod sa potensyal nga kalainan tali sa duha ka internal nga probes
RS: pagbatok sa sheet
ΔV: Pagbag-o sa boltahe nga gisukod tali sa mga internal nga pagsusi
I : Ang kasamtangan nga gigamit tali sa gawas nga mga probe
Oras sa pag-post: Mar-29-2024