Sa mga kagamitan sa pag-ukit sa plasma, ang mga sangkap sa seramik adunay hinungdanon nga papel, lakip angfocus singsing.Ang focus singsing, nga gibutang sa palibot sa ostiya ug sa direktang kontak niini, gikinahanglan sa pagtutok sa plasma ngadto sa ostiya pinaagi sa pagpadapat sa boltahe sa singsing. Kini nagdugang sa pagkaparehas sa proseso sa pag-ukit.
Paggamit sa SiC Focus Rings sa Etching Machines
Mga sangkap sa SiC CVDsa etching machines, sama safocus singsing, gas showerheads, platens, ug edge rings, gipaboran tungod sa ubos nga reaktibiti sa SiC sa chlorine ug fluorine-based etching gases ug sa conductivity niini, nga naghimo niini nga usa ka sulundon nga materyal alang sa plasma etching equipment.
Mga Kaayohan sa SiC isip Focus Ring Material
Tungod sa direkta nga pagkaladlad sa plasma sa vacuum reaction chamber, ang focus rings kinahanglan nga himoon gikan sa plasma-resistant nga mga materyales. Ang tradisyonal nga mga singsing sa pokus, nga gihimo gikan sa silicon o quartz, nag-antus sa dili maayo nga pagsukol sa etching sa mga plasma nga nakabase sa fluorine, nga nagdala sa paspas nga pagkaguba ug pagkunhod sa kahusayan.
Pagtandi Tali sa Si ug CVD SiC Focus Rings:
1. Mas Taas nga Densidad:Gipakunhod ang gidaghanon sa etching.
2. Lapad nga Bandgap: Naghatag maayo kaayo nga insulasyon.
3. Taas nga Thermal Conductivity & Low Expansion Coefficient: Makasugakod sa thermal shock.
4. Taas nga Elasticity:Maayo nga pagbatok sa mekanikal nga epekto.
5. Taas nga Katig-a: Pagsul-ob ug corrosion-resistant.
Gipaambit sa SiC ang electrical conductivity sa silicon samtang nagtanyag og labaw nga pagsukol sa ionic etching. Samtang nag-uswag ang integrated circuit miniaturization, ang panginahanglan alang sa labi ka episyente nga mga proseso sa pag-etching nagdugang. Ang mga kagamitan sa pag-ukit sa plasma, labi na kadtong naggamit sa capacitive coupled plasma (CCP), nanginahanglan taas nga enerhiya sa plasma, paghimoSiC focus ringsmas popular.
Si ug CVD SiC Focus Ring Parameter:
| Parameter | Silicon (Si) | CVD Silicon Carbide (SiC) |
| Densidad (g/cm³) | 2.33 | 3.21 |
| Band Gap (eV) | 1.12 | 2.3 |
| Thermal Conductivity (W/cm°C) | 1.5 | 5 |
| Thermal Expansion Coefficient (x10⁻⁶/°C) | 2.6 | 4 |
| Elastic Modulus (GPa) | 150 | 440 |
| Katig-a | Ubos | Mas taas |
Proseso sa Paggama sa SiC Focus Rings
Sa mga kagamitan sa semiconductor, ang CVD (Chemical Vapor Deposition) sagad nga gigamit aron makahimo mga sangkap sa SiC. Ang mga singsing sa pokus gihimo pinaagi sa pagdeposito sa SiC sa piho nga mga porma pinaagi sa pagbutang sa alisngaw, gisundan sa mekanikal nga pagproseso aron maporma ang katapusan nga produkto. Ang materyal nga ratio alang sa alisngaw deposition gitakda human sa halapad nga eksperimento, sa paghimo sa mga parameter sama sa resistivity makanunayon. Bisan pa, ang lainlaing kagamitan sa pag-ukit mahimo’g magkinahanglan og mga singsing sa pokus nga adunay lainlaing mga resistensya, nanginahanglan bag-ong mga eksperimento sa ratio sa materyal alang sa matag detalye, nga nag-usik sa oras ug mahal.
Pinaagi sa pagpiliSiC focus ringsgikan saSemicera Semiconductor, makab-ot sa mga kustomer ang mga benepisyo sa mas taas nga mga siklo sa pag-ilis ug labaw nga pasundayag nga wala’y daghang pagtaas sa gasto.
Mga sangkap sa Rapid Thermal Processing (RTP).
Ang talagsaon nga thermal properties sa CVD SiC naghimo niini nga sulundon alang sa mga aplikasyon sa RTP. Ang mga sangkap sa RTP, lakip ang mga singsing sa ngilit ug mga platen, nakabenepisyo gikan sa CVD SiC. Atol sa RTP, ang grabe nga mga pulso sa kainit gipadapat sa tagsa-tagsa nga mga wafer sulod sa mubo nga mga gidugayon, gisundan sa paspas nga pagpabugnaw. Ang CVD SiC nga mga singsing sa ngilit, nga nipis ug adunay ubos nga thermal mass, dili magpabilin nga mahinungdanon nga kainit, nga dili kini maapektuhan sa paspas nga pagpainit ug mga proseso sa pagpabugnaw.
Mga sangkap sa Plasma Etching
Ang taas nga resistensya sa kemikal sa CVD SiC naghimo niini nga angay alang sa mga aplikasyon sa etching. Daghang mga etching chamber ang naggamit sa CVD SiC nga mga plato sa pag-apod-apod sa gas aron ipang-apod-apod ang mga etching gas, nga adunay liboan ka gagmay nga mga lungag alang sa pagkatibulaag sa plasma. Kung itandi sa alternatibong mga materyales, ang CVD SiC adunay mas ubos nga reaktibiti sa chlorine ug fluorine gas. Sa dry etching, ang CVD SiC component sama sa focus rings, ICP platens, boundary rings, ug showerheads sagad gigamit.
Ang mga singsing sa pokus sa SiC, uban ang ilang gipadapat nga boltahe alang sa pagpunting sa plasma, kinahanglan adunay igong conductivity. Kasagaran nga hinimo sa silicon, ang mga singsing sa pokus naladlad sa mga reaktibo nga gas nga adunay sulud nga fluorine ug klorin, nga nagdala sa dili kalikayan nga kaagnasan. Ang mga singsing sa pokus sa SiC, nga adunay labing maayo nga resistensya sa kaagnasan, nagtanyag og mas taas nga mga lifespans kung itandi sa mga singsing nga silikon.
Pagkumpara sa Lifecycle:
· SiC Focus Rings:Ilisan matag 15 hangtod 20 ka adlaw.
· Silicon Focus Rings:Gipulihan matag 10 hangtod 12 ka adlaw.
Bisan pa sa mga singsing sa SiC nga 2 hangtod 3 ka beses nga labi ka mahal kaysa mga singsing nga silikon, ang gipalawig nga siklo sa pag-ilis makapamenos sa kinatibuk-ang gasto sa pag-ilis sa sangkap, tungod kay ang tanan nga mga bahin sa pagsul-ob sa chamber gipulihan dungan kung giablihan ang chamber para sa pagpuli sa focus ring.
Ang SiC Focus Rings sa Semicera Semiconductor
Ang Semicera Semiconductor nagtanyag sa SiC focus ring sa mga presyo nga duol sa mga silicon ring, nga adunay lead time nga gibana-bana nga 30 ka adlaw. Pinaagi sa pag-integrate sa Semicera's SiC focus rings ngadto sa plasma etching equipment, ang episyente ug longevity mas gipaayo, nga nagpamenos sa kinatibuk-ang gasto sa pagmentinar ug nagpauswag sa produksiyon. Dugang pa, mahimo ipasadya ni Semicera ang resistivity sa mga focus ring aron matubag ang piho nga mga kinahanglanon sa kustomer.
Pinaagi sa pagpili sa SiC focus rings gikan sa Semicera Semiconductor, makab-ot sa mga kustomer ang mga benepisyo sa mas taas nga mga siklo sa pagpuli ug labaw nga pasundayag nga wala’y daghang pagtaas sa gasto.
Oras sa pag-post: Hul-10-2024