Proseso sa Paggama sa Semiconductor - Teknolohiya sa Etch

Gatusan nga mga proseso ang gikinahanglan aron ma-turn aostiyasa usa ka semiconductor. Usa sa labing hinungdanon nga proseso mao angpagkulit- sa ato pa, pagkulit sa maayong mga pattern sa sirkito saostiya. Ang kalampusan sapagkulitAng proseso nagdepende sa pagdumala sa nagkalain-laing mga variable sulod sa usa ka set distribution range, ug ang matag etching equipment kinahanglan nga andam sa pag-operate ubos sa kamalaumon nga mga kondisyon. Gigamit sa among mga inhenyero sa proseso sa pag-etching ang labing maayo nga teknolohiya sa paggama aron makompleto kini nga detalyado nga proseso.
Ang SK Hynix News Center nag-interbyu sa mga miyembro sa Icheon DRAM Front Etch, Middle Etch, ug End Etch technical teams aron makat-on og dugang mahitungod sa ilang trabaho.
Etch: Usa ka Panaw padulong sa Pagpauswag sa Produktibo
Sa paghimo sa semiconductor, ang etching nagtumong sa pagkulit sa mga pattern sa nipis nga mga pelikula. Ang mga pattern gi-spray gamit ang plasma aron maporma ang katapusan nga outline sa matag lakang sa proseso. Ang panguna nga katuyoan niini mao ang hingpit nga pagpresentar sa tukma nga mga sumbanan sumala sa layout ug pagpadayon sa managsama nga mga resulta sa ilawom sa tanan nga mga kondisyon.
Kung mahitabo ang mga problema sa proseso sa deposition o photolithography, masulbad kini pinaagi sa teknolohiya nga selective etching (Etch). Bisan pa, kung adunay sayup sa panahon sa proseso sa pag-ukit, ang sitwasyon dili mabalik. Kini tungod kay ang parehas nga materyal dili mapuno sa kinulit nga lugar. Busa, sa proseso sa paghimo sa semiconductor, ang etching hinungdanon aron mahibal-an ang kinatibuk-ang ani ug kalidad sa produkto.

Ang proseso sa etching naglakip sa walo ka mga lakang: ISO, BG, BLC, GBL, SNC, M0, SN ug MLM.
Una, ang ISO (Isolation) stage etches (Etch) silicon (Si) sa wafer aron makamugna ang aktibong cell area. Ang yugto sa BG (Buried Gate) nagporma sa linya sa adres sa linya (Word Line) 1 ug ang ganghaan aron makamugna og electronic channel. Sunod, ang BLC (Bit Line Contact) stage nagmugna sa koneksyon tali sa ISO ug sa column address line (Bit Line) 2 sa cell area. Ang yugto sa GBL (Peri Gate+Cell Bit Line) dungan nga maghimo sa linya sa address sa cell column ug ang ganghaan sa periphery 3.
Ang yugto sa SNC (Storage Node Contract) nagpadayon sa paghimo sa koneksyon tali sa aktibo nga lugar ug sa storage node 4. Pagkahuman, ang yugto sa M0 (Metal0) nagporma sa mga punto sa koneksyon sa peripheral S/D (Storage Node) 5 ug ang mga punto sa koneksyon tali sa linya sa address sa column ug sa storage node. Ang yugto sa SN (Storage Node) nagpamatuod sa kapasidad sa yunit, ug ang sunod nga yugto sa MLM (Multi Layer Metal) nagmugna sa eksternal nga suplay sa kuryente ug internal nga mga kable, ug ang tibuok proseso sa etching (Etch) nga engineering nahuman.

Tungod kay ang mga technician sa etching (Etch) ang panguna nga responsable sa pag-pattern sa mga semiconductor, ang departamento sa DRAM gibahin sa tulo ka mga koponan: Front Etch (ISO, BG, BLC); Middle Etch (GBL, SNC, M0); Katapusan nga Etch (SN, MLM). Kini nga mga team gibahin usab sumala sa mga posisyon sa paggama ug mga posisyon sa kagamitan.
Ang mga posisyon sa paggama mao ang responsable sa pagdumala ug pagpaayo sa mga proseso sa produksiyon sa yunit. Ang mga posisyon sa paggama adunay hinungdanon nga papel sa pagpauswag sa ani ug kalidad sa produkto pinaagi sa variable control ug uban pang mga lakang sa pag-optimize sa produksiyon.
Ang mga posisyon sa kagamitan ang responsable sa pagdumala ug pagpalig-on sa mga kagamitan sa produksiyon aron malikayan ang mga problema nga mahimong mahitabo sa proseso sa pag-etching. Ang kinauyokan nga responsibilidad sa mga posisyon sa kagamitan mao ang pagsiguro sa kamalaumon nga pasundayag sa kagamitan.
Bisan kung ang mga responsibilidad klaro, ang tanan nga mga koponan nagtrabaho padulong sa usa ka sagad nga katuyoan - nga mao, ang pagdumala ug pagpauswag sa mga proseso sa produksiyon ug mga may kalabutan nga kagamitan aron mapauswag ang produktibo. Sa niini nga katuyoan, ang matag team aktibo nga nakigbahin sa ilang kaugalingon nga mga nahimo ug mga lugar alang sa pag-uswag, ug nagtinabangay aron mapauswag ang pasundayag sa negosyo.
Giunsa pagsagubang ang mga hagit sa teknolohiya sa miniaturization

Gisugdan sa SK Hynix ang mass production sa 8Gb LPDDR4 DRAM nga mga produkto alang sa 10nm (1a) nga proseso sa klase kaniadtong Hulyo 2021.

Ang mga pattern sa circuit sa memorya sa semiconductor nakasulod sa 10nm nga panahon, ug pagkahuman sa mga pag-uswag, ang usa ka DRAM maka-accommodate mga 10,000 nga mga cell. Busa, bisan sa proseso sa pag-ukit, ang margin sa proseso dili igo.
Kung ang naporma nga lungag (Hole) 6 gamay ra kaayo, kini mahimong makita nga "wala maabli" ug babagan ang ubos nga bahin sa chip. Dugang pa, kung ang naporma nga lungag dako kaayo, ang "bridging" mahimong mahitabo. Kung ang gintang tali sa duha ka mga lungag dili igo, ang "pagdugtong" mahitabo, nga moresulta sa mga problema sa pagdugtong sa usag usa sa sunod nga mga lakang. Samtang ang mga semiconductor nahimong labi nga dalisay, ang sakup sa mga kantidad sa gidak-on sa lungag anam-anam nga nagkunhod, ug kini nga mga peligro anam-anam nga mawala.
Aron masulbad ang mga problema sa ibabaw, ang mga eksperto sa teknolohiya sa pagkulit nagpadayon sa pagpauswag sa proseso, lakip ang pag-usab sa resipe sa proseso ug algorithm sa APC7, ug pagpaila sa mga bag-ong teknolohiya sa pag-etsa sama sa ADCC8 ug LSR9.
Samtang nagkadaiya ang panginahanglan sa kustomer, mitumaw ang laing hagit – ang uso sa produksiyon sa daghang produkto. Aron matubag ang ingon nga mga panginahanglanon sa kustomer, ang na-optimize nga mga kondisyon sa proseso alang sa matag produkto kinahanglan nga itakda nga gilain. Kini usa ka espesyal kaayo nga hagit alang sa mga inhenyero tungod kay kinahanglan nila nga himuon ang teknolohiya sa mass production nga matubag ang mga panginahanglanon sa parehas nga natukod nga mga kondisyon ug lainlaing mga kondisyon.
Alang niini, gipaila sa mga inhenyero sa Etch ang teknolohiya nga "APC offset" 10 aron pagdumala sa lainlaing mga derivatives base sa mga core nga produkto (Core Products), ug gitukod ug gigamit ang "T-index system" aron komprehensibo nga pagdumala sa lainlaing mga produkto. Pinaagi sa kini nga mga paningkamot, ang sistema padayon nga gipauswag aron matubag ang mga panginahanglanon sa produksiyon sa daghang produkto.