Unsa ang mga nag-unang lakang sa pagproseso sa mga substrate sa SiC?

 

Giunsa namo paghimo ang mga lakang sa pagproseso alang sa mga substrate sa SiC mao ang mosunod:

 

1. Kristal nga Oryentasyon:

Paggamit sa X-ray diffraction aron i-orient ang kristal nga ingot. Kung ang usa ka X-ray beam gitumong sa gusto nga kristal nga nawong, ang anggulo sa diffracted beam nagtino sa kristal nga oryentasyon.

 

2. Outer Diameter Paggaling:

Ang mga single nga kristal nga gipatubo sa graphite crucibles kasagaran molapas sa standard diameters. Ang paggaling sa gawas nga diyametro makapakunhod niini ngadto sa standard nga mga gidak-on.

 

 

3. Katapusan nga Paggaling sa Nawong:

Ang 4-pulgada nga 4H-SiC nga mga substrate kasagaran adunay duha nga mga sulab sa pagposisyon, panguna ug sekondarya. Ang paggaling sa pagtapos sa nawong nagbukas niini nga mga sulud sa pagposisyon.

 

4. Wire Sawing:

Ang wire sawing usa ka hinungdanon nga lakang sa pagproseso sa 4H-SiC substrates. Ang mga liki ug kadaot sa ilawom sa yuta nga gipahinabo sa paggabas sa wire negatibo nga nakaapekto sa mga sunod nga proseso, nagpalugway sa oras sa pagproseso ug hinungdan sa pagkawala sa materyal. Ang labing komon nga paagi mao ang multi-wire sawing nga adunay diamante nga abrasive. Usa ka reciprocating motion sa metal wires nga gigapos sa diamante abrasives gigamit sa pagputol sa 4H-SiC ingot.

 

5. Pagsamok:

Aron mapugngan ang pag-chip sa ngilit ug makunhuran ang mga pagkawala sa makonsumo sa mga sunod nga proseso, ang mga hait nga ngilit sa mga wire-sawn chips gi-chamfer sa piho nga mga porma.

 

6. Pagnipis:

Ang wire sawing nagbilin ug daghang mga garas ug kadaot sa ilawom sa nawong. Ang pagpanipis gihimo gamit ang mga ligid sa diamante aron makuha kini nga mga depekto kutob sa mahimo.

 

7. Paggaling:

Kini nga proseso naglakip sa rough grinding ug fine grinding gamit ang mas gamay nga gidak-on nga boron carbide o diamond abrasives aron makuha ang nahabilin nga mga kadaot ug mga bag-ong kadaot nga gipaila sa panahon sa pagnipis.

 

8. Pagpasinaw:

Ang katapusang mga lakang naglakip sa rough polishing ug fine polishing gamit ang alumina o silicon oxide abrasives. Ang polishing liquid makapahumok sa nawong, nga unya mekanikal nga gikuha sa mga abrasive. Kini nga lakang nagsiguro sa usa ka hapsay ug wala madaot nga nawong.

 

9. Paglimpyo:

Pagtangtang sa mga partikulo, metal, oxide films, organic residues, ug uban pang mga kontaminante nga nahabilin gikan sa mga lakang sa pagproseso.