Ang proseso sa dry etching kasagarang naglangkob sa upat ka batakang estado: sa wala pa ang pag-etching, partial etching, pag-etching lang, ug over etching. Ang nag-unang mga kinaiya mao ang etching rate, selectivity, kritikal nga dimensyon, pagkaparehas, ug endpoint detection. Figure 1 Sa wala pa ang etching Figure 2 Partial etching Figure...
Basaha ang dugang pa