Tantalum carbide coated susceptor support platemao ang usa ka susceptor o suporta istruktura nga gitabonan sa usa ka manipis nga layer satantalum carbide. Kini nga coating mahimong maporma sa susceptor surface pinaagi sa mga teknik sama sa physical vapor deposition (PVD) o chemical vapor deposition (CVD), nga naghatag sa susceptor sa superyor nga mga kabtangan satantalum carbide.
Naghatag ang Semicera og espesyal nga tantalum carbide (TaC) coatings alang sa lainlaing mga sangkap ug mga carrier.Ang Semicera nga nanguna nga proseso sa coating makahimo sa tantalum carbide (TaC) coatings nga makab-ot ang taas nga kaputli, taas nga temperatura nga kalig-on ug taas nga pagtugot sa kemikal, pagpaayo sa kalidad sa produkto sa SIC / GAN nga mga kristal ug EPI layers (Graphite coated TaC susceptor), ug pagpalugway sa kinabuhi sa mga importanteng sangkap sa reaktor. Ang paggamit sa tantalum carbide TaC coating mao ang pagsulbad sa problema sa ngilit ug pagpalambo sa kalidad sa pagtubo sa kristal, ug ang Semicera adunay breakthrough nga nasulbad ang tantalum carbide coating technology (CVD), nga nakaabot sa internasyonal nga advanced level.
Human sa mga tuig sa kalamboan, Semicera mibuntog sa teknolohiya saCVD TaCuban ang hiniusang paningkamot sa departamento sa R&D. Ang mga depekto dali nga mahitabo sa proseso sa pagtubo sa mga wafer sa SiC, apan pagkahuman gigamitTaC, ang kalainan mahinungdanon. Sa ubos usa ka pagtandi sa mga wafer nga adunay ug wala ang TaC, ingon man ang mga bahin sa Simicera alang sa usa ka pagtubo sa kristal.
Ang mga nag-unang bahin sa tantalum carbide coated base nga suporta nga mga plato naglakip sa:
1. Taas nga temperatura nga kalig-on: Ang Tantalum carbide adunay maayo kaayo nga taas nga temperatura nga kalig-on, nga naghimo sa adunay sapaw nga base nga suporta nga plato nga angay alang sa mga panginahanglan sa suporta sa taas nga temperatura sa pagtrabaho nga mga palibot.
2. Pagbatok sa kaagnasan: Ang Tantalum carbide coating adunay maayo nga resistensya sa kaagnasan, makasukol sa kemikal nga kaagnasan ug oksihenasyon, ug mapalugway ang kinabuhi sa serbisyo sa base.
3. Taas nga katig-a ug pagsukol sa pagsul-ob: Ang taas nga katig-a sa tantalum carbide coating naghatag sa base nga suporta sa plate nga maayo nga pagsukol sa pagsul-ob, nga angay alang sa mga okasyon nga nanginahanglan taas nga pagsukol sa pagsul-ob.
4. Kalig-on sa kemikal: Ang Tantalum carbide adunay taas nga kalig-on sa nagkalainlaing kemikal nga mga substansiya, nga naghimo sa coated base nga suporta nga plato nga maayo nga nahimo sa pipila ka mga corrosive nga palibot.
adunay ug walay TaC
Human gamiton ang TaC (tuo)
Dugang pa, ang Semicera'sMga produkto nga adunay sapaw sa TaCnagpakita sa usa ka mas taas nga serbisyo sa kinabuhi ug mas taas nga temperatura nga pagsukol itandi saSiC coating.Ang mga pagsukod sa laboratoryo nagpakita nga ang amongMga coat nga TaCmahimong makanunayon nga pagbuhat sa temperatura hangtod sa 2300 degrees Celsius sa taas nga panahon. Sa ubos mao ang pipila ka mga pananglitan sa among mga sampol:
