Unsa ang epitaxy?

Kadaghanan sa mga inhenyero dili pamilyarepitaxy, nga adunay importante nga papel sa paghimo sa semiconductor device.Epitaxymahimong gamiton sa lain-laing mga produkto chip, ug lain-laing mga produkto adunay lain-laing mga matang sa epitaxy, lakip naUsa ka epitaxy, SiC epitaxy, GaN epitaxy, ug uban pa.

Unsa ang epitaxy?
Ang Epitaxy sagad gitawag nga "Epitaxy" sa English. Ang pulong naggikan sa Gregong mga pulong nga “epi” (nagkahulogang “ibabaw”) ug “mga taksi” (nagkahulogang “kahikay”). Sama sa gisugyot sa ngalan, kini nagpasabut nga paghan-ay nga hapsay sa ibabaw sa usa ka butang. Ang proseso sa epitaxy mao ang pagdeposito sa usa ka nipis nga usa ka kristal nga layer sa usa ka kristal nga substrate. Kining bag-ong gideposito nga usa ka kristal nga layer gitawag ug epitaxial layer.

Adunay duha ka nag-unang matang sa epitaxy: homoepitaxial ug heteroepitaxial. Ang Homoepitaxial nagtumong sa pagtubo sa parehas nga materyal sa parehas nga klase sa substrate. Ang epitaxial layer ug ang substrate adunay parehas nga istruktura sa lattice. Ang Heteroepitaxy mao ang pagtubo sa laing materyal sa usa ka substrate sa usa ka materyal. Sa kini nga kaso, ang lattice structure sa epitaxially grown nga kristal nga layer ug ang substrate mahimong lahi. Unsa ang mga single nga kristal ug polycrystalline?
Sa semiconductors, kanunay natong madungog ang mga termino nga single crystal silicon ug polycrystalline silicon. Ngano nga ang pipila nga silicon gitawag nga usa ka kristal ug ang pipila nga silikon gitawag nga polycrystalline?

Usa ka kristal: Ang kahikayan sa lattice padayon ug wala mausab, nga walay mga utlanan sa lugas, nga mao, ang tibuok nga kristal gilangkuban sa usa ka lattice nga adunay makanunayon nga kristal nga oryentasyon. Polycrystalline: Ang polycrystalline gilangkuban sa daghang gagmay nga mga lugas, nga ang matag usa usa ka kristal, ug ang ilang mga oryentasyon random nga may kalabotan sa usag usa. Kini nga mga lugas gibulag sa mga utlanan sa lugas. Ang gasto sa produksiyon sa polycrystalline nga mga materyales mas ubos kaysa sa usa ka kristal, mao nga kini mapuslanon gihapon sa pipila ka mga aplikasyon. Asa maapil ang proseso sa epitaxial?
Sa paghimo sa mga integrated circuit nga nakabase sa silicon, ang proseso sa epitaxial kaylap nga gigamit. Pananglitan, ang silicon epitaxy gigamit sa pagtubo sa usa ka putli ug maayong pagkakontrol nga silicon layer sa usa ka silicon substrate, nga hilabihan ka importante alang sa paghimo sa mga advanced integrated circuits. Dugang pa, sa mga power device, ang SiC ug GaN duha ka sagad nga gigamit nga lapad nga bandgap semiconductor nga mga materyales nga adunay maayo kaayo nga mga kapabilidad sa pagdumala sa kuryente. Kini nga mga materyales kasagarang gipatubo sa silicon o uban pang mga substrate pinaagi sa epitaxy. Sa quantum communication, ang semiconductor-based quantum bits kasagarang naggamit ug silicon germanium epitaxial structures. ug uban pa.

Mga pamaagi sa pagtubo sa epitaxial?

Tulo ka sagad nga gigamit nga mga pamaagi sa semiconductor epitaxy:

Molecular beam epitaxy (MBE): Molecular beam epitaxy) usa ka semiconductor epitaxial growth technology nga gihimo ubos sa ultra-high vacuum nga mga kondisyon. Sa kini nga teknolohiya, ang gigikanan nga materyal na-evaporate sa porma sa mga atomo o molekular nga mga sagbayan ug dayon ibutang sa usa ka kristal nga substrate. Ang MBE usa ka tukma ug makontrol nga semiconductor thin film growth nga teknolohiya nga tukma nga makontrol ang gibag-on sa gideposito nga materyal sa atomic level.

Metal organic CVD (MOCVD): Sa proseso sa MOCVD, ang mga organikong metal ug hydride nga mga gas nga adunay gikinahanglan nga mga elemento gihatag sa substrate sa usa ka angay nga temperatura, ug ang gikinahanglan nga mga materyales sa semiconductor namugna pinaagi sa kemikal nga mga reaksyon ug gibutang sa substrate, samtang ang nahabilin Ang mga compound ug mga produkto sa reaksyon gipagawas.

Vapor Phase Epitaxy (VPE): Ang Vapor Phase Epitaxy usa ka hinungdanon nga teknolohiya nga sagad gigamit sa paghimo sa mga aparato nga semiconductor. Ang sukaranan nga prinsipyo niini mao ang pagdala sa alisngaw sa usa ka substansiya o compound sa usa ka carrier gas ug pagdeposito sa mga kristal sa usa ka substrate pinaagi sa kemikal nga mga reaksiyon.