RTPMga singsing sa CVD SiCkaylap nga gigamit sa industriyal ug siyentipikong natad sa taas nga temperatura ug makadaot nga mga palibot. Kini adunay hinungdanon nga papel sa paghimo sa semiconductor, optoelectronics, makinarya sa katukma ug industriya sa kemikal. Ang piho nga mga aplikasyon naglakip sa:
1. Semiconductor manufacturing:RTP CVD SiC singsingmahimong gamiton alang sa pagpainit ug pagpabugnaw sa mga kagamitan sa semiconductor, paghatag og lig-on nga pagkontrol sa temperatura ug pagsiguro sa katukma ug pagkamakanunayon sa proseso.
2. Optoelectronics: Tungod sa maayo kaayo nga thermal conductivity ug taas nga temperatura nga pagsukol, RTPMga singsing sa CVD SiCmahimong gamiton isip suporta ug mga materyales sa pagwagtang sa kainit alang sa mga laser, fiber optic communication equipment ug optical components.
3. Precision machinery: RTP CVD SiC singsing mahimong gamiton alang sa tukma nga mga instrumento ug mga ekipo sa taas nga temperatura ug corrosive nga mga palibot, sama sa taas nga temperatura nga mga hurno, vacuum device ug kemikal nga mga reactor.
4. Industriya sa kemikal: Tungod sa resistensya sa kaagnasan ug kalig-on sa kemikal, ang mga singsing sa RTP CVD SiC mahimong magamit sa mga sudlanan, tubo ug mga reaktor sa mga kemikal nga reaksyon ug mga proseso sa catalytic.
Sistema sa Epi
Sistema sa RTP
Sistema sa CVD
Pagganap sa produkto:
1. Himamata ang proseso ubos sa 28nm
2. Super corrosion nga pagsukol
3. Super limpyo nga performance
4. Super katig-a
5. Taas nga Densidad
6. Taas nga temperatura nga pagsukol
7. Pagsul-ob sa pagsukol
Aplikasyon sa produkto:
Ang mga materyales sa Silicon carbide adunay mga kinaiya sa taas nga katig-a, pagsukol sa pagsul-ob, pagsukol sa kaagnasan ug kalig-on sa taas nga temperatura. Ang mga produkto nga adunay maayo kaayo nga komprehensibo nga pasundayag kaylap nga gigamit sa dry etching ug mga proseso sa TF/Diffusion.
Pagganap sa produkto:
1. Himamata ang proseso ubos sa 28nm
2. Super corrosion nga pagsukol
3. Super limpyo nga performance
4. Super katig-a
5. Taas nga Densidad
6. Taas nga temperatura nga pagsukol
7. Pagsul-ob sa pagsukol
Pag-uswag sa Composite nga Proseso:
• Graphite + SiC Coating
• Solide CVD SiC
• Sintered SiC+CVD
• SicSintered SiC
Pag-uswag sa daghang tipo sa produkto:
• Singsing
• Lamesa
• Susceptor
• Ulo sa shower