Silicon Carbide Substrates|SiC Wafers

Mubo nga Deskripsyon:

Ang Semicera Energy Technology Co., Ltd. usa ka nanguna nga supplier nga nag-espesyalisar sa wafer ug advanced semiconductor consumables. Kami dedikado sa paghatag og taas nga kalidad, kasaligan, ug bag-ong mga produkto sa semiconductor manufacturing, photovoltaic nga industriya ug uban pang may kalabutan nga mga natad.

Ang among linya sa produkto naglakip sa SiC / TaC nga adunay sapaw nga graphite nga mga produkto ug mga produkto nga seramik, nga naglangkob sa lainlaing mga materyales sama sa silicon carbide, silicon nitride, ug aluminum oxide ug uban pa.

Sa pagkakaron, kami ra ang tiggama nga naghatag kaputli nga 99.9999% nga SiC coating ug 99.9% nga recrystallized silicon carbide. Ang labing taas nga SiC coating nga gitas-on mahimo namon nga 2640mm.

 

Detalye sa Produkto

Mga Tag sa Produkto

SiC-Wafer

Silicon carbide (SiC) single nga kristal nga materyal nga adunay usa ka dako nga band gintang gilapdon (~ Si 3 ka beses), taas nga thermal conductivity (~ Si 3.3 ka beses o GaAs 10 ka beses), taas nga electron saturation migration rate (~ Si 2.5 ka beses), taas nga breakdown electric field (~ Si 10 ka beses o GaAs 5 ka beses) ug uban pang talagsaong mga kinaiya.

Ang mga aparato sa SiC adunay dili mapulihan nga mga bentaha sa natad sa taas nga temperatura, taas nga presyur, taas nga frequency, taas nga gahum sa elektronik nga mga aparato ug grabe nga mga aplikasyon sa kalikopan sama sa aerospace, militar, enerhiya sa nukleyar, ug uban pa, naghimo alang sa mga depekto sa tradisyonal nga mga aparato nga materyal nga semiconductor sa praktikal. aplikasyon, ug anam-anam nga nahimong mainstream sa power semiconductors.

4H-SiC Silicon carbide substrate specifications

Butang项目

Mga Detalye参数

Polytype
晶型

4H -SiC

6H- SiC

Diametro
晶圆直径

2 ka pulgada | 3 ka pulgada | 4 ka pulgada | 6 ka pulgada

2 ka pulgada | 3 ka pulgada | 4 ka pulgada | 6 ka pulgada

Gibag-on
厚度

330 μm ~ 350 μm

330 μm ~ 350 μm

Conductivity
导电类型

N – tipo / Semi-insulating
N型导电片/ 半绝缘片

N – tipo / Semi-insulating
N型导电片/ 半绝缘片

Dopant
掺杂剂

N2 ( Nitrogen )V ( Vanadium )

N2 ( Nitrogen ) V ( Vanadium )

Oryentasyon
晶向

Sa axis <0001>
Off axis <0001> off 4°

Sa axis <0001>
Off axis <0001> off 4°

Pagkasukol
电阻率

0.015 ~ 0.03 ohm-cm
(4H-N)

0.02 ~ 0.1 ohm-cm
(6H-N)

Densidad sa Micropipe (MPD)
微管密度

≤10/cm2 ~ ≤1/cm2

≤10/cm2 ~ ≤1/cm2

TTV
总厚度变化

≤ 15 μm

≤ 15 μm

Pana / Warp
翘曲度

≤25 μm

≤25 μm

Nawong
表面处理

DSP/SSP

DSP/SSP

Grado
产品等级

Grado sa produksiyon / panukiduki

Grado sa produksiyon / panukiduki

Crystal Stacking Sequence
堆积方式

ABCB

ABCABC

Parameter sa lattice
晶格参数

a=3.076A , c=10.053A

a=3.073A , c=15.117A

Eg/eV(Band-gap)
禁带宽度

3.27 eV

3.02 eV

ε(Dielectric Constant)
介电常数

9.6

9.66

Refraction Index
折射率

n0 =2.719 ne =2.777

n0 =2.707 , ne =2.755

6H-SiC Silicon Carbide substrate specifications

Butang项目

Mga Detalye参数

Polytype
晶型

6H-SiC

Diametro
晶圆直径

4 ka pulgada | 6 ka pulgada

Gibag-on
厚度

350μm ~ 450μm

Conductivity
导电类型

N – tipo / Semi-insulating
N型导电片/ 半绝缘片

Dopant
掺杂剂

N2(Nitroheno)
V (Vanadium)

Oryentasyon
晶向

<0001> gikan sa 4°± 0.5°

Pagkasukol
电阻率

0.02 ~ 0.1 ohm-cm
(6H-N Type)

Densidad sa Micropipe (MPD)
微管密度

≤ 10/cm2

TTV
总厚度变化

≤ 15 μm

Pana / Warp
翘曲度

≤25 μm

Nawong
表面处理

Nawong: CMP, Epi-Ready
C Nawong: Optical Polish

Grado
产品等级

Grado sa panukiduki

Lugar sa trabaho sa Semicera Semicera nga trabahoan 2 Makina sa kagamitan Pagproseso sa CNN, paglimpyo sa kemikal, coating sa CVD Ang among serbisyo


  • Kaniadto:
  • Sunod: