Mga Wafer sa SOI

Mubo nga paghulagway:

Ang SOI wafer kay usa ka sandwich-like structure nga adunay tulo ka layers;Lakip ang ibabaw nga layer (layer sa device), ang tunga-tunga sa gilubong nga layer sa oxygen (alang sa insulating SiO2 layer) ug ang ubos nga substrate (bulk silicon).Ang mga wafer sa SOI gihimo gamit ang SIMOX nga pamaagi ug wafer bonding nga teknolohiya, nga nagtugot sa mas manipis ug mas tukma nga mga layer sa device, uniporme nga gibag-on ug ubos nga densidad sa depekto.


Detalye sa Produkto

Mga Tag sa Produkto

Mga Wafer sa SOI(1)

Natad sa aplikasyon

1. High-speed integrated circuit

2. Mga gamit sa microwave

3. Taas nga temperatura integrated circuit

4. Gahum nga mga himan

5. Ubos nga gahum integrated circuit

6. MEMS

7. Ubos nga boltahe nga integrated circuit

butang

Pangatarungan

Sa kinatibuk-an

Wafer Diametro
晶圆尺寸(mm)

50/75/100/125/150/200mm±25um

Pana / Warp
翘曲度(

<10um

Mga partikulo
颗粒度(

0.3um<30ea

Mga Flat/Notch
定位边/定位槽

Flat o Notch

Eksklusyon sa Edge
边缘去除(mm)

/

Layer sa Device
器件层

Device-layer Type/Dopant
器件层掺杂类型

N-Type/P-Type
B/ P/ Sb / Ingon

Device-layer Orientation
器件层晶向

<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>

Gibag-on sa layer sa aparato
器件层厚度(um)

0.1~300um

Pagbatok sa Layer sa Device
器件层电阻率(ohm•cm)

0.001~100,000 ohm-cm

Device-layer nga mga partikulo
器件层颗粒度(

<30ea@0.3

Device Layer TTV
器件层TTV(

<10um

Paghuman sa Layer sa Device
器件层表面处理

Gipasinaw

BOX

Gilubong nga Thermal Oxide Gibag-on
埋氧层厚度(um)

50nm(500Å)~15um

Pagdumala sa Layer
衬底

Pagdumala sa Wafer Type/Dopant
衬底层类型

N-Type/P-Type
B/ P/ Sb / Ingon

Pagdumala sa Wafer Orientation
衬底晶向

<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>

Pagdumala sa Wafer Resistivity
衬底电阻率(ohm•cm)

0.001~100,000 ohm-cm

Pagdumala sa Wafer Gibag-on
衬底厚度(um)

>100um

Pagdumala sa Wafer Finish
衬底表面处理

Gipasinaw

Ang mga wafer sa SOI sa target nga mga detalye mahimong ipasibo sumala sa mga kinahanglanon sa kustomer.

Lugar sa trabaho sa Semicera Semicera nga trabahoan 2

Makina sa kagamitanPagproseso sa CNN, paglimpyo sa kemikal, coating sa CVD

Ang among serbisyo


  • Kaniadto:
  • Sunod: